400-900-9093
一、半導體/集成電路
蓋斯帕克長時與(yu)集成化電線生產(chan)廠進行合(he)作(zuo)，專聯合(he)設計開發制作(zuo)安裝的(de)高純(chun)的(de)EP級特氣(qi)柜、氣(qi)體分配(pei)柜廣泛用(yong)于濕(shi)蝕(shi)刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、過熱蒸汽檢查是否氣(qi)(qi)相(xiang)色譜(pu)儀(yi)淀(dian)積（APCVD）、低壓(ya)化學氣(qi)(qi)相(xiang)淀(dian)積（LPCVD）、等離子(zi)體(ti)(ti)化學氣(qi)(qi)相(xiang)淀(dian)積（PECVD）、濺(jian)射（PF）、光(guang)刻等半導體(ti)(ti)設(she)備的(de)(de)供氣(qi)(qi)服務，同時還算征(zheng)對(dui)各(ge)家工(gong)廠(chang)(chang)的(de)(de)實際特點，量身(shen)定(ding)制地開發了(le)危險(xian)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)監(jian)控管理系統（GDS），為廠(chang)(chang)家的(de)(de)安全生(sheng)產保駕(jia)護行。還相(xiang)應開發了(le)上(shang)述(shu)生(sheng)產設(she)備的(de)(de)尾氣(qi)(qi)處理系統，保證了(le)工(gong)廠(chang)(chang)廢(fei)氣(qi)(qi)的(de)(de)排放達標
