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半導體廠大宗氣體管道系統設計

2020-09-08

  半導體廠大宗氣體管道系統設計

  根據半導體行業的投入量與掉落幾乎都是極其的大,不管什么供汽出現中斷都會產生龐然大物的經濟性不必要的損失,特別是在對中大型智能家居控制電線處理芯片生孩子廠認為。因而在制定中都要充分地顧慮固體提供設計工作的安全管理耐用性。若主要包括實地現場制氣辦法。

  大宗氣體輸送管道系統的設計

  經純化后的大量氣味由氣味純化間送回輔助軟件產出層(SubFAB)或產出廠區(FAB)的空架地磚下,走過里建成配管道工程絡,再由三次配管系統(Hook-up)送回各用戶組點。以我的構思體驗,在構思要側重顧慮有以下多個各方面。  1、配管體統的整體性架構部署  目前為止,較普通的體系結構模式設置的概念有樹桿型(圖2)和環型(圖3)二種。這其中又數樹桿型相對而言最常用,其體系結構模式設置的概念清晰明了,且與別裝置的配管體系結構模式設置的概念相似性,不利于產品 區域發展規劃。環型則能最號地確保用氣點壓為的相對穩定性高,但創業較高。對此在設置的概念中應不同用氣點的分布區條件及用氣壓為讓標準化注意。舉例,您們在某200mm集成型電源電路集成ic生孩子廠的設置的概念中,大宗商品現貨的氣體配管裝置均用樹桿型體系結構模式設置的概念。主要是是因為該FAB倉庫廠房比較大,地埋管較長,而生產技術流程氫氣用氣點較多,有顆些用氣點對壓為讓也較高,對此對生產技術流程氫氣管道裝置特備用了樹桿型與環型相緊密結合的具體方法,環型領班主要是衡量用氣點的壓為相對穩定性高,其外徑可高于樹桿型領班的外徑,可以削減制造費。  2、配管整體的靈活機動性設計方案  微光電材料制造業的轉型極其快速發展,長期會進行加工施工工藝機更新系統、挪位和增減等狀況發生。或許在一整個生產廠家的制作中,之后的加工施工工藝機遍布也會與設汁時相去甚遠。這類制造業的特出性請求設汁就必須有效充分的考慮到其靈巧性(Flexibility),能滿意未來十年的括展訴求。  配管整體的關鍵設計方案構思遵循原則是在領班(Main),上按--定行距動用管道端(Branch),再在每種管道上按一-定行距動用分管道(BranchTake-off)供二重新配管動用。并且,領班的外徑過度隨流量數據的減少而實行漸縮設計方案構思。  顯然商品交易甲烷氣體輸送帶系統的設汁除了僅之內三點,在組材等一些這方面都是越來越多禁忌,這里的我就不認真推薦。  大綜乙炔氣裝置的裝修制定制作是一小問題半導體材料電子廠裝修制定制作中的一款 決定性問題,雖說一小問題裝置的步奏并不錯綜復雜,是之中某一教學環節的疏漏都將會出現頻發的不良影響。在裝修制定制作中,須要在燃氣管道安裝穩定可靠、不斷不暫停的基本原則下,按照嚴格確保乙炔氣的好品質,然而切實保障一小問題電子廠研發的順利完成進行。其余在成本低問題也具備所考慮到,力爭提升可靠性與經濟條件性的取舍。  


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