名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

　　規格：一進16出

　　型號：HSPVMB130616

　　■ 特氣柜大小：W550寬×D500深×H600高　　■ VENT排凈管：1/2MVCR電源接口　　■ 生產技術氣休：1進N出(N=2~16)　　■ 日線圖型號規格：1/4"日線圖　　■ 要求人員配備：防火防腐蝕櫥柜柜門，防火自鎖門，防火波璃探究窗，流出短信報警，主材SS316L　　■ 腔體通氣量: 4"泄壓閥口，SiH4-1200次/小，任意300次/小　　■ 選用：外吹掃，抽真空體，全自主調節，技術氣味過壓微信報警裝置功能，即遠程斷開，股票k線熱處理及溫度控制器安全裝置，透漏微信報警裝置功能，微信報警裝置功能4g信號智能手機微信與辦公電話通知怎么寫

　　適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。