名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

規格：一進多出

型號：HSPVMB130602 

■ 特氣柜尺寸：W550寬×D500深(shen)×H600高 

■ VENT排空管(guan)：1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體：1進(jin)N出(chu)（N=2~9） 

■ 盤(pan)面(mian)規格：1/4"盤(pan)面(mian)

■ 標準配備：防爆防腐柜(ju)體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報(bao)警，主(zhu)材SS316L

■ 箱體換(huan)氣量:4"排氣口，SiH4-1200次(ci)(ci)/小時，其余300次(ci)(ci)/小時 

■ 選配：外吹掃，抽真空(kong)，全(quan)自動控制，工藝氣體超壓報警(jing)，遠(yuan)程切斷，盤面加熱及(ji)溫控裝置(zhi)，泄漏(lou)報警(jing)，報警(jing)信號手機短信與電話通知 

■ 適用范圍：應用在(zai) MOCVD、PECVD、刻(ke)蝕機等(deng)配套(tao)設備上，適用于高校(xiao)實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池(chi)、生物醫藥(yao)工程、微電子新材料等(deng)行業(ye)。