電子特氣管道氦檢漏 特氣管道測試種類有哪些
機器設備經理路主要是是通各種各樣的特殊有害氣體,需做測式方法工程項目有：抗壓測式方法、保壓測式方法、氦探測式方法、含水分測式方法、氧分測式方法、粒狀測式方法。
一、耐壓測試
1.1軟件測試的 排水管在頂住直流電后連接點沒外泄，以確保安全保障任何考生的安全保障。除此之外聚氨酯保溫管中的直流電是可以偵測出焊道上會不有沙孔都存在(沙孔是因為為過高的心理壓力導致的流露)。 1.2測試圖片的規則 測驗時期為0.5H,測驗水壓值前提程序中材質的明顯的運轉水壓值而定，以免 因水壓值過大引起材質丟失。譬如程序中水壓值表明顯的滿量程為400Kpa，則通入水壓值要大于值為400Kpa。無壓降僅以能夠。如無壓降需至少找出漏點繼續測驗，直至無壓降說不定。 1.3測試英文APP 水壓表 1.4公測前開始準備 查驗系統性操作具體步驟有無需要與PIDcad圖紙操作具體步驟不對，審核裝修食材形號、路徑、標志有無需要正確。查驗供水管裝修食材明顯運轉負荷值,避開因測驗具體步驟通入負荷值過高造成伐門壞損。 1.5小心情況說明 保證質量測驗范圍內內整個的單向閥(屬于調壓閥)都趨于開高的環境。 1.6測量方案 1.6.1將安全閥用彩石熱力管道連入至平臺進氣端。 1.6.2慢慢來打開隔離閥。 1.6.3很久增大 10 PSIG，遲緩的將裝置化重壓增大到終于測試重壓的50% 。觀察植物重壓表10 到15
1分鐘，看裝置化有設用戶名。如重壓表顯現裝置化有用戶名，則壓縮裝置化重壓沒收違法所得理漏點。反復上述內容方法。 1.6.4證明體統無每泄密后，一點一點的增大體統經濟阻力到測驗值，段開安全閥，觀察分析經濟阻力表30 30分鐘看體統是否是泄密。 1.6.5在系統化的負荷保持穩定并展現無每壓降后，在負荷檢驗情況匯報中備案檢驗逐漸開始時的溫、準確時間和負荷值。
二、保壓測試
2.1測試英文意義 切實保障壓縮空氣管道輸送管平臺的沒能明星的用戶名，能夠對壓縮空氣管道平臺的開展氦測漏。 2.2檢驗玩法 測驗時候為24小的時候，測驗氣壓不會超過設計制作氣壓的1.15倍，經的溫暖較正后的支持氣壓降為并不嚴重于進行氣壓的1%.氣壓波動式子式(充分由于的溫暖反應) P2=測式完結壓差值 (PSIG) P1=檢驗已經開始經濟壓力值(PSIG) T2=檢驗完成溫值 (℃) T1=檢驗開端溫度因素值(℃) Pta=充分特別注意攝氏度影響到的壓變遷值 2.3檢測工具軟件 保壓計 2.4試驗方案 1.將汽源用合金水管對接至裝置流量端。 2.通過生活緩慢打開微信分隔閥。 3.沒次添加 10 PSIG，較慢的將體系氣壓添加到最后檢查氣壓的50% 。考察氣壓表10 到15
15分鐘，看體系有沒有漏糞。如氣壓表提示 體系有漏糞，則縮小體系氣壓處以理漏點。按順序以上的操作的。 4.判斷裝置無其它漏洞后，滿滿的增高裝置負荷到測驗值，斷電安全閥，的記錄好室內溫度、準確時間、負荷值，24H后觀看負荷是有壓降。 5.在平臺的負擔增強并表現無所以壓降后，在負擔各種測試儀該報告中記下各種測試儀開使時的溫度因素、精力和負擔值。 2.5測驗完成后要注意相關事宜 1.在軟件試驗評估中記錄時間下軟件試驗的參數指標。將系統軟件的壓力值釋放出來，在實行氦測漏剛剛用高純N2對系統軟件實行延續的吹掃0.5H。 2.將心理壓力考試用的供水管道拆卸時，用堵頭來抽真空系統的并用到新的墊圈。 3.如由高溫所引發的壓為上升高于了的要求，可以通過封閉各種測試範圍內的系統的閘閥來 開大多數的隱性漏點，了解很多區別防曬隔離霜有些的壓降。 4.在將漏點底部隔離和恢復后面，多次重復據此檢查步。
三、氦質譜檢漏測試
3.1各種測試基本原則 應用氦質譜儀感測漏入系統化中的微量分析的氦氣來測漏，并可根據論文檢測到的氦氣的量來確保漏率的的大小。 3.2有關專有名詞及表示 蒸空環境體度：地處蒸空環境體壯態下的廢氣黏稠層次，往往用“蒸空環境體度更高”和“蒸空環境體度低”來帶表。 真空環境度部門：Torr 、Pa。 1托=1/760層結壓=1毫米左右汞柱 1托=133.322帕 1帕=7.5×10-3托 漏率：通風真空環境的空間在對外部標準化典雅壓和公司的時期內， 物資泄露的強度。 漏率選用政府部門：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s 10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s 分子式結構泵：憑借高速收費站拖動的轉子，當混合氣體分子式結構與渦輪增壓葉面相激發時就被驅向吸氣口再由前級泵抽除。 3.3考試實驗室設備 氦質譜檢漏儀 3.4公測前準備工作 1.控制系統成就 的的利用了保壓檢漏。 2.根本軟件的那些部分都能承受得下蒸空動態而不毀壞。 3.先對測漏儀客觀事物閥組及無線連接聚氨酯保溫管開展漏率檢查測量。 4.測漏儀與平臺軟件導壓管掛斷前，要將被測平臺軟件內的其他氣體施放掉。 5.徐徐點開測漏儀通道處的調節閥，將測漏儀與輸送管控制系統防曬隔離霜閥兩者的輸送管抽真空度，直接左右測漏儀表現的背靜漏率超過 1× 10-9 mbar.l/s。 6.對拼接壓縮空氣管道上大多數的焊道及自動化設備拼接處開展氦氣噴吹。 3.5檢測措施 1.驗證系統中常有的調節閥 和調壓閥均是開高的。 2.填寫系統軟件的的中的學習壓力為0，若果系統軟件的的中還會有壓縮空氣，要先將系統軟件的的中的氣態排出去。 3.緩緩的開啟檢漏儀閘道處的調節閥 ，剛開始將體統傭金負壓情況下。遵從檢漏儀的工作步驟證明工作步驟，一直到達到了就可以檢驗的情況下。 4.數據下檢漏儀的后臺氦漏率，該后臺氦漏率小于1 ×10-9 mbar.l/s后來，才就可以做好噴吹運轉。 5.從最靠上檢漏儀的焊道或相接縫處就開始加測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或相接縫處，使人氦氣會滯留在焊道或相接縫處一小段時期，驗收不會流出后，實施下的焊道或相接縫處的加測，直至然后的焊道或相接縫處。 6.若果看到檢漏儀的標示值有回升的物理現象，待到檢漏儀讀值復原健康后，立即監測該焊道或連入判處核對其有無說真的有漏，若果核對并非該焊道或連入處有漏，要分別監測該焊道或連入處時候的焊道或連入處，到了找尋漏點直到。 7.直接上下大多數的觸點都被檢驗到，檢驗及格的觸點要貼及格標準。大多數的觸點都噴吹過氦氣后，隨時探究檢漏儀的讀值十分鐘的英文上下，填寫讀值沒失常后才可以將機系統與分析儀器當中溶合開。 8.若果每個常開觸點的氦氣漏率都降至1× 10-9 mbar.l/s，介紹該系統性的漏率是貼合追求的。測試人數還可以將檢查測量結果計錄在檢查測量情況匯報里了。 9.將檢漏儀與系統分離。
四、水分、氧分、顆粒檢測(三臺儀器并聯使用)
4.1自測作用和自測基準 的水分探測的目的意義最主要是為了能規避管內水份量過高時，會有化學物質發生反應，對制造可能會導致損害。 氧分探測的原則最主要是方便防范給水管內氧成分過高時，會發生的物理反響，對制造出現影晌。舉例子，IC芯片在導致的時候中，原先大氣磅礴中O2會和Si導致物理反響:O2+Si=SiO2,為原創的陽極氧化反應成，如果給水管內的氧成分過高，原創的陽極氧化反應層會超乎原先已是折算好的規格，即使會較為嚴重影晌下面來各的時候的制造。 粒子探測具體是探測管路內顆粒子的顆粒直徑面積大小和數量統計多大。如管路內顆粒子太多會對Wafer良率直接影響很大的。 檢查測量準則： 肌膚水分檢則 ≤10ppb 氧分探測 ≤10ppb 小粒檢測工具 0.1um≤5pcs,0.1um大于為0pcs 4.2測試英文器材 水汽儀 氧分儀 小粒儀 4.3自測方式方法 1.將吹掃供氣連入到機系統進氣端，所以調節閥 在啟用心態。 2.間斷吹掃2H后用復合聚氨酯保溫管接連裝置撒氣端至檢測儀實驗醫療實驗室設備進氣端。使氣體通入實驗醫療實驗室設備，1015分鐘后使用主機電源，制定實驗醫療實驗室設備每項技術指標后逐漸檢測儀。 3.待檢驗數值檢驗源達成規則耍求后，信息檢驗數值檢驗源，關閉系統進氣端和吸氣端閥體，使給水管內始終維持送風機。 4.各種測試設施設備關閉電源，設施設備與設施設備離心分離。
