氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　非常規有害氣態的那個種類似的可氛圍揮發性性、致癌性、可燃性、助燃性、惰性等，似的普遍的半導體設備有害氣態劃分類別下述：　　一、生銹性/毒素：HCL、BF3、WF6、HBr、SiH2CL2、NH3、PH3、CL2、BCL3...等　　二、可燃性：H2、CH4、SIH4、PH3、AsH3、SiH2CL2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO... 等　　三、助燃性：O2、CL2、N2O、NF3...等　　四、惰性：N2、CF4、C2F6、 C3F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He...等

　　特殊氣體供氣方式

　　特別混合氣味的供給原則截止期近幾年直到，近乎皆用設備的原則開始，一樣 所用的為各類高壓設備，但依其選中的混合氣味特點有可劃分為氣態與等離子態設備，

　　1、氣態氧氣瓶：其添加壓力值亦高，汽體以氣態補充于氧氣瓶內﹔低水蒸氣壓的汽體則以固體補充于氧氣瓶內。　　2、活性炭有毒氣體活性炭吸出劑式氣味儲藏氣瓶：即常說的可靠油田供氣(SDS,Safe Delivery Source)，可藉由媒質如沸石和抗逆性碳待遇定的氣味如PH3、AsH3、BF3、SIF4等去熱學活性炭有毒氣體活性炭吸出劑，以氣味分子式與活性炭有毒氣體活性炭吸出劑劑間的瓦力將氣味活性炭有毒氣體活性炭吸出劑于活性炭有毒氣體活性炭吸出劑劑的孔重，其優點有哪些為油田工作壓力降至—大方得體壓，無用戶名勞逸結合。

　　氣態鋼瓶和吸附氣體儲存鋼瓶安全性對比

　　經實驗所結果顯示，哪怕漏洞亦不因會出現著火或帶來會危害性人體組織的毒煙密度，安全性能高性佳，還有提供量為民俗高壓低壓氣瓶的數倍至十余倍。然此類低效供熱未能操作于現下大部分的半導體行業有害氣體，亦少晶圓廠操作此類系統軟件開展中低效式的提供方案，以至于文章將不好其多作熱議，僅做出此類提供方案的優點供讀者群考生。

　　特殊氣體應用流程

　　共性腐蝕性、毒副作用、通過燃燒性的乙炔氣，基本上包含將液化氣鋼瓶置入氣瓶柜(GAS Cabinet)內，再透射內部管道將乙炔氣生產商至現場隨近的閥箱(VMB,Valve Manifold Box)，其志再進入制造機臺的運用電(Pou,Point Of Use),于進入機臺腔體先前，就有獨立自主的乙炔氣調整盤(GB,Gas BOX)與制造調整功能模塊聯機，以質流調整器(MFC,Mass Flow Controller)通過訪問量之空調的使用與進氣的混合型喂養比倒調整，基本上此乙炔氣調整盤不隸屬于廠務體系的設計制作本質屬性，即使隸屬制造機臺機 的那有些。　　一樣 的惰性廢氣則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP,Valve Manifold Panel) 做出廠家直銷。詳實的講述與專題討論將在下節做出，現代僅舉一簡潔的多種有差異 供氧的流程方案的實驗總結