雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱：雙瓶特氣柜

規格：雙工藝氣瓶，全自動

型號：HSPGC150206 

■ 特(te)氣柜尺寸：W850寬×D500深×H1800高(gao) 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口 

■ 抽真空(kong)：GN2，1/4"MVCR接口 

■ 氣(qi)動隔膜閥：CDA驅(qu)動，1/4"卡套(tao)接口 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工藝(yi)氣體出口(kou)(kou)：2個，1/4"MVCR接口(kou)(kou) 

■ 盤面(mian)規(gui)格(ge)：1/4"盤面(mian)

■ 標準配備：自(zi)動切(qie)換，防(fang)(fang)爆(bao)防(fang)(fang)腐(fu)柜體，防(fang)(fang)爆(bao)自(zi)鎖門(men)，防(fang)(fang)爆(bao)玻璃(li)觀察(cha)窗，泄漏報警(jing)，遠程切(qie)斷，欠壓報警(jing)，主材SS316L

■ 柜(ju)體(ti)換氣(qi)量:OD100mm排氣(qi)口，SiH4-1200次(ci)(ci)/小時，其(qi)余300次(ci)(ci)/小時 

■ 控制柜尺寸：W850寬×D230深×H320高 

■ 控制柜電源(yuan)：220VAC，50HZ，200W，漏電保護

■ 操(cao)作界面：7"彩色觸摸屏

■ 選配：工藝氣瓶重(zhong)量監(jian)控器，工藝氣體超壓報警，盤面加熱及溫(wen)控裝置，報警信號手(shou)機短(duan)信與電話通知 

選用比率：用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等設施專用設備上，凸顯于存儲芯片半導體的材料、太陽的光能光伏太陽的光能蓄電池、生物技術生物制藥市政工程、微光電子新的材料等這個行業。