CVD設備的scrubber的功能原理及其安裝位置

　　CVD設備scrubber的功能

　　CVD生產機scrubber常規上是主要為CVD生產機煙氣加工規劃的傳動裝置。CVD煙氣通常情況下含有過多顆粒劑和得以加工的未反響、爆炸聲性、易燃物性或致癌性氣物排放物。scrubber一種主要為避免前后端分離加工的費事和健康性而規劃的傳動裝置。能讓用局布scrubber專用型CVD生產機單臺或多個，

　　scrubber設備廢氣處理方式(處理廢氣原理)

　　scrubber設配加工廢氣排放包括采用燃燒型、加熱型、等正離子型，沾水洗滌等流量，有差異問題有差異并選擇的加工方案也有差異。　　scrubber結合各種的技術存在各種的尾氣排放;選各種的處置的辦法!　　1、scrubber該產品涉及電電熱絲型、氣身材比例、樹脂氣體吸附性型和等亞鐵離子身材比例。樹脂氣體吸附性型必須調整樹脂氣體吸附性桶，操作下去相對而言過高，但保養下去最便。　　2、通常情況下，可預熱清手洗型，而且可操作清手洗預熱再清手洗型。SiH4在熔化后與SIO2不起作用。NH3與水不起作用轉化結晶體。NF3、WF3、SIF4、C2F6的鋁離子鍵在熔化之后可能會訪問，與水不起作用轉化氟化氫。

　　scrubber設備的安裝位置

　　scrubber系統一般而言安裝使用在系統高壓氣泵和的廢液排污總管中間。屬于有毒的護墻板危害的廢液由高壓氣泵抽至scrubber系統來解決，接下來排污推廣出去。